深紫外光刻加上自對準四重圖案化技術的解決方案是來自英特爾對制造工藝極限的開拓，胡正明與梁孟淞在與英特爾交流合作fi之后基本確認了可行性。

    他想了想，又補充道：“考慮到英特爾對工藝節點的劃分和實際的晶體管密度，我認為10nm不是duv saqp方案的極限，7nm的可行性也很高?！?/br>
    就像現在英特爾的14nm與冰芯的16nm，兩者歸在同一階段，但前者的晶體管密度是每平方毫米大約3750萬，后者的則是3000萬，兩種工藝存在25%的差距。

    同一階段的節點，英特爾確實更強，由此，英特爾的duv saqp方案在10nm上的拓展或可展望其它廠商的7nm，但這就需要冰芯進一步的研究與優化了。

    方卓關切地問道：“英特爾自己做10nm和7nm也都用這個方案嗎？”

    “看他們的意思……”梁孟淞沒想到方總會問這樣的問題，他停頓思考，答道，“之所以叫它過渡方案就是因為euv的成熟需要解決，英特爾的10nm大概會用這個，7nm怎么也應該引入euv了?！?/br>
    方卓“嘖”了一聲。

    胡正明忍不住笑道：“還是euv好是吧，方總，有的用就不錯了?！?/br>
    “確實，有的用就不錯了?！狈阶空f道，“單就制程工藝這一塊，我們的情況沒那么差?！?/br>
    胡正明努努嘴：“是的，這是我們的梁院士辛辛苦苦換來的?！?/br>
    因為冰芯跨代搶灘了fi的16nm，所以，即便遭遇嚴厲限制，如今在工藝這一塊也能相對從容。

    業界如今對于先進工藝的定義已經在以28nm作為分界點，在它之前屬于成熟工藝，之后的自然就是先進工藝。

    更不用說冰芯的16nm，這是先進中的先進。

    也正因為這種先進性，冰芯是不缺訂單的，哪怕完全供向國內，也能把產能填滿，只是，上限被削弱了。

    冰芯過去這些年的快速發展得益于全球市場與供應鏈的廣泛合作，這是一套已經得到驗證的行之有效的體系。

    但在今后，這套體系放在國內就需要再經驗證，因為，大家都不會停下腳步，冰芯仍需往前。

    “bis限制美利堅企業對我們的出口，這一塊也還行，去美化是我們一直在做的，歐洲和日本廠商能保證競爭力，問題就在于，bis后續追加的措施會怎么擴大范圍，一旦全面的限制，那就是一個很嚴肅很嚴肅的挑戰，我們需要保證我們的最低運轉?！鼻翊仍普J真地說道。

    方卓沉吟道：“現在是美利堅的出口，未來必然會是美利堅擴展到更大范圍，也必然會包括進口，我現在還沒有進一步的消息，實在不行，那就先苦一苦兄弟?！?/br>
    一旦限制范圍擴大，冰芯面臨的狀況就會十分麻煩。

    比如，arf光刻膠，這是先進工藝節點不可或缺的核心材料之一，而全球市場是由日企壟斷了超90%的份額。

    更為關鍵的是，它是對光敏感的精密化學材料，保質期一般在六個月之內，囤貨也不好囤。

    一旦冰芯被斷供，生產運轉就遭受極大的影響。

    “中芯冰芯，同氣連枝，是吧？”邱慈云打趣道，“必要的時候從兄弟那里拆一拆機器，勻一勻材料，先把難關度過去?！?/br>
    方卓連連點頭，然也，然也。

    當然，這話還是調侃居多，冰芯這次面臨限制，中芯還不知道后續會有什么狀況，它現在是技術不冒頭，但要是一拆機器，一勻材料，怕不是立即就冒頭了。

    “還是得看我們自己有沒有，能解決有的問題，慢慢的就都行了?！焙髡f道，“得看芯材那邊什么時候能突破，我們這個制程工藝的時間就是留給大家的?！?/br>
    今天這個情況是早有預期，上下游環節的問題也自然都有詳細考慮，芯材公司是由冰芯牽頭，與南大光電、芯刻微材料等公司進行光刻膠合作研發的技術子公司，拿到了大基金和小基金的錢，還算有一定的進展。

    “辛苦張總了，回頭還得看看他的視察情況?！鼻翊仍普f道。

    張汝京低調的成了冰芯的顧問，這次面臨阿美嚴選，也就投入到產業鏈的視察與整合工作之中。

    邱慈云又說道：“不管怎么樣，我們的工藝是先進的，存貨也暫時是夠的，雖說供應商的技術支持得重新整備，但冰芯的戰斗力還在，反而是……方總，易科的全球市場更大?！?/br>
    冰芯對于今日情況已有預期，相關工作也一直在做，大小基金、產業整合、技術合作、查缺補漏，雖說確實面臨許多問題，但這次的阿美嚴選有點壓力測試的意思，必然會催動一系列工作的加速。

    可是，與冰芯并肩戰斗的易科，它的龐大市場與產品成績……可能壓力更大。

    “人死鳥朝天，不死萬萬年?！狈阶柯柭柤?，“大有大的玩法，小有小的玩法，不要擔心，做不了世界的易科，那就當國內的諾基亞好了?！?/br>
    第201章 態度

    三月份的第二天，上海下了一場淅淅瀝瀝的小雨。

    春節的氣息猶在，元宵還沒到來，氣溫一到晚上也不過就是四五度，又有冷風細雨撲在臉上，難免讓人感到寒意。

    但張汝京絲毫沒有這樣的感覺，他匆匆的從一間會議室走進另一間會議室，心里轉著的都是當前的狀況，既有行業大環境所面臨的問題，也有眼前碰見的現實問題。

    砰！

    門被一把推開，冰涼的空氣卷進辦公室讓眾人不自覺的都皺了皺眉。

    張汝京大步走進來，嗓子有些嘶啞地問道：“怎么樣了？現在商討的怎么樣？”

    沒人回答，只有重新彌漫起來的二手煙。

    張汝京到了辦公桌邊也不坐，直接一手按桌，傾著身子的再次說道：“又不是讓你們去干euv光刻膠，也不是立即把arf搞好，一邊搞，一邊建，這就這么為難？”

    他這次來上海主要就是為了arf光刻膠研發的事情，如同他自己之前在琴島搞的大硅片一樣，高端光刻膠也是國內比較欠缺的一環。

    雖說如今還沒波及這個，但冰芯上了名單，后續極可能會被追加更嚴厲的措施。

    芯材公司是由大基金、冰芯、南大光電、晶瑞電材等公司聯合成立的技術研究公司，主要目標就是取得arf光刻膠的突破。

    只是，但凡需要突破的東西都有難度，arf光刻膠在evu方案還沒落地商用的情況下就是最高端的精密化學材料，國內這方面的廠商目前都沒什么苗頭。

    芯材是2012年成立，彼時也費了不少功夫，這個環節的公司們本身存在競爭關系，聯合研發存在著利益分配的問題。

    張汝京這一趟來之前問了問相關情況，從負責晶圓制造聯盟工作的秘書長那邊得知，當時是冰芯態度有一點點強硬的推動了這個合作。

    冰芯在內地半導體行業里有著相當大的主導權，這既是它本身的技術水平，也是晶圓制造聯盟在金融危機后做了不少整合的幫忙。

    不管南大光電還是晶瑞電材，它們在內地都繞不開冰芯。

    再加上，方總2011年7月份進行了事實上的部分的“同氣連枝”整合，冰芯加上中芯更是內地半導體公司繞不開的存在了。

    基于這種情況才有了“芯材”的誕生。

    從2012年到2015年的現在，芯材專注于arf光刻膠的研究，進度上嘛，還算可以，多次進行了小規模試驗，調整的配方比例也在光化學反應性能上有明顯的提升。

    只是，這種提升還達不到理想的狀態，等到走出實驗室，擴大到中試規模，工藝流程的工業化適應性評估就出現了問題。

    這便沒法大腳步的再往下走，況且，后面也有不少關隘，要搞長時間存儲穩定性和批次間一致性測試，要做晶圓廠兼容性驗證，必須得確保光刻膠和冰芯的生產工藝無縫對接，還得做大量重復性與可靠性測試。

    如此這些，最后還要建立穩定的生產工藝，保證大規模生產的每一批次的光刻膠性能一致。

    “芯材走在了正確的路上?！?/br>
    這是來自晶圓制造聯盟的評價。

    可惜，眼下的局面略顯急迫。

    阿美嚴選的壓力已經施加過來，后續追加措施也隱約可見，鑒于如此形勢，冰芯希望“芯材”可以先進行廠區的投資與建設，只要arf出了成果，初期的成本高一些都沒問題。

    但是，南大光電、晶瑞電材等參與研發的公司不太想同意這樣的冒進。

    “張總，我們的上一次測試結論已經出來了，現有工藝不適合大規模生產，現在最重要的還是找出問題，看看怎么精細調整配方中的各組分比例，不然沒法保持相同的化學性質和光刻性能……這個時候說什么建廠不建廠……”南大光電駐芯材的研發組長李亞磊吞吞吐吐地說道，“不合適啊?！?/br>
    張汝京一皺眉，沒等反駁就聽到另一家企業負責人晶瑞電材伍彥杰的聲音。

    “是啊，張總，咱們這個不適合大上快上，后面做驗證的過程里本來就容易存在未知數，我理解冰芯的急切，可是，這事，它急不得??！”伍彥杰苦口婆心。

    張汝京聽到這兩位的話，又見辦公室里的其他人不出聲，他緩緩說道：“建廠不耽誤你們尋找問題，調整配方，你們搞你們的，現在就是合資建廠，兩線并舉?！?/br>
    伍彥杰見老頭冥頑不靈，無奈道：“張總，這又不是你的中芯，不能搞大上快上啊，搞不出來合適的產品，廠子沒效益，你們財大氣粗，我們不行啊?！?/br>
    中芯當年的發展速度很快，搞出了多地布局的戰略，后來隨著與臺記官司的敗訴，又碰見金融危機，不得不割rou收縮。

    張汝京沒有生氣，耐著性子地說道：“形勢不一樣了，芯材做了兩年多，晶圓制造聯盟幫忙找資源，冰芯和大基金跟著投錢，那時候可以慢慢搞，現在不知道什么時候就被下絆子，不光你們這，其它的替代公司都是這樣，我知道你們的心情，也知道你們各自公司有著自己的想法，但我還是得說，形勢不一樣了?！?/br>
    伍彥杰不說話，現在研發的arf主要是冰芯需要，自家的主力業務是在做g線和i線光刻膠，arf固然先進，但是，自家業務先做好才能繼續往下展望。

    張汝京見沒人表態，再次緩緩說道：“如果建廠并行的意見沒人同意，大概就是‘芯材’這樣聯合研發的路子走不通，我也不是逼各位，實在不行，我明天就回合肥復命，這個還必須是冰芯自己下場做，我就不信，人家16nm都搞出來了，世界第一都搞出來了，這材料上面的事搞不定！”

    他說著說著又情不自禁的激憤起來。

    “哎，哎，張總，你坐，你坐，我們一起研究嘛?！蹦洗蠊怆姷睦顏喞诼牭綇埧傔@樣的表態，出聲勸道，“張總，反正我不是那個意思，我只是覺得可以不用那么急，急也未必有用，冰芯就算把‘芯材’買回去，它能做一個arf光刻膠，它能把所有的東西都做了嗎？這事還是大家一起的事?！?/br>
    “冰芯能做什么，它就做什么，它能做一個，那就做一個?！睆埲昃├渲?，說道，“不行就別加盟，直接改直營?！?/br>
    李亞磊轉了轉眼珠，這個說法倒是很形象。

    他給了一個稍微強點的表態：“張總，我現在就再打電話，再和公司聊聊這個事，這建在哪，怎么建，研發和生產怎么分……都是事啊?！?/br>
    辦公室里響起一陣應和聲，都是事，都是事啊。

    張汝京默許了這樣的態度，某種程度上，也沒錯。

    只是，當他結束這間辦公室里的討論，給方總打電話時還是難免失望：“芯材這邊……真是各有各的小心思！就差沒說，是冰芯上了名單，不是他們上名單！”

    “哎，張總，你看你，度君子之腹了吧?！狈阶繘]有為轉述的情況而憤怒，反而笑道，“你這通電話之前，我還接到電話呢，好些個廠商都跟我表態，這次一定和冰芯共進退?！?/br>
    張汝京立即問道：“都有誰？”

    方卓說了幾個廠商的名字，又笑道：“他們挺雀躍的，這是機會來了啊，冰芯受限，這必須讓備胎轉正，大家的機會很多?！?/br>
    張汝京聽著這樣的話，嘆道：“你也沒好到哪去，也沒少度君子之腹?！?/br>
    第202章 果決

    張汝京這一趟在上海的工作實在談不上順利。

    連續數天，即便他已經把話說的很明白，即便他也傳遞了這是國內企業好機會的態度，但……數家光刻膠公司仍舊躊躇不前。

    其實，張汝京也明白大家的考慮，一個是夢想，一個是現實。

    現實是，國內的光刻膠和國際先進水平存在很大差距，不要說arf光刻膠了，就連g線和i線光刻膠的自給率都不到20%，而krf光刻膠也不到5%。

    基于這種情況，南大光電、晶瑞電材等公司不愿意再投入更多精力和資源，想著聚焦于g線、i線、krf光刻膠也能理解。

    可是……看看“芯材”這兩年多的研發進展，真的不是沒有機會，即便未必能在近期突破，中長期也是有大作為的。

    易科系不缺錢，阿美的壓力測試一來，自然也會掀起新一輪查缺補漏式的研發。

    這樣的機會不用好就太可惜了。

    當然，最好的還是近期能有所突破，那就能幫上大忙。

    張汝京懷揣著這樣的心情，一家廠商一家廠商的談，一個負責人一個負責人的聊，但一直到3月5號又一次攢局開會，仍舊拿不到正向的表態。

    5號的下午，他接到來自合肥的電話，得到晶圓制造聯盟的通知，已經可以前往琴島了。

    也就是，芯材這邊換方案了。