yǔzんаǐǔ.cм 二、Waferdefe
2019, 4月15日, 美國亞利桑那州 荒蕪的沙礫,炙熱的陽光,這里是美墨邊界的索諾拉沙漠,在一望無際的曠野中,立著一間破敗的茅草屋,毫無違合地融入了這一片荒野之中。 兩名農夫裝扮的男子并肩走進茅屋里,把破爛的木板門輕輕地關上,按下了門邊一個和茅屋顏色幾乎一樣的隱藏按扭。 茅屋的地板發出輕微的『嗡~嗡~』聲,開始緩緩下降。 下降的時間很長,已經無法確定是地底第幾層了。終於電梯停下,打開門是一個嶄新的,極富科技感的金屬長廊,兩名男子邊聊天邊走出電梯。 直到他們走遠,原本空無一人的電梯中發出一聲長嘆,一個少女的身影從空氣中顯現出來,深邃湛藍的眸子看了看四周,嘴角勾起一抹淡淡的微笑。 然後她步出電梯,躡手躡腳地轉過長廊,然後才發現墻角的監視器正對著她拍呢!少女看了一眼監視器,然後在一片藍色光點之中再度隱沒了身形。 2019, 7月14日 淩晨兩點鐘 陳士研站在機臺前面,正在修改實驗用的程式,在一間強調效率跟品質的晶圓廠里,一個晶片表面缺陷的案子拖了一個禮拜都沒破案是不被允許的,今晚就得找出這些缺陷的來源,不然明天大家都得吃土。 這一個晚上,他已經設計了不下十個實驗,就不信沒有一個能分析出個所以然來,只要找出造成缺陷的原因,就不怕不能改善。只是現在已經是半夜,他也已經在無塵室奮戰了將近20個小時,整個人已經進入了一種半昏迷狀態,快要連自己在機臺里寫些什麼都高不清楚了。 「別撐了,光靠這些實驗,你是找不出答案的?!挂粋€清脆的女聲在士研的背後響起。 回過頭,第一眼看到的就是無塵衣包覆下那雙明亮、靈動、無比深邃且湛藍色的眸子,即使只露出一雙眼,也美的足以讓這個工程師宅男瞬間清醒。 「你剛剛說什麼?」回復神智後士研第一句話就問。 「我說,這個 ca色 你解不了?!古⒌??!父襾戆?!」 她的右手輕輕在士研背上一拍,士研只感到一陣暈眩,意識一下模糊起來,感覺機臺漸漸變大,那個進貨口變得像黑洞一樣,就連晶圓傳送的單位、晶舟(裝晶圓的舟狀物,一般都25片晶圓裝在一個晶舟里,稱為1 lot)都變得巨大無比,等他再清醒時,已在一道高墻之下。 「這是你剛剛長的氧化層,50a?!古⒅钢邏Φ捻敹?。(1a=1010公尺,約一根頭發的百萬分之一)。 士研只能傻傻地點頭,他根本高不清楚眼前發生了什麼事。要說他真的變小只剩 1a 的身高,他是死都不相信的。 女孩微微一笑,她可不管士研信不信,拉著他的手輕輕地飄到墻頭,眼前是一大片平原,但有些地方坑坑洼洼地,像是一個個凹洞。 「你腳下就是剛剛長的二氧化矽,你看那些凹洞,像不像你在電子顯微鏡下看到的 defect?」女孩指著眼前不遠的一個大洞。 士研rourou眼睛,的確在電子顯微鏡下看到的就是這樣一個個凹洞,大家想破腦袋都想不到這些凹洞到底是哪里來的。 「來?!古⒗垦凶叩桨级刺?,只見里面趴著許多龜殼似的物t,有些還從殼里伸出粗短的四肢,正一口一口地啃著地面,形成更多更深的凹洞。 「這些是矽族,它們身體是矽,食物是二氧化矽,吃到身體里把二氧化矽變回矽,把氧排出,這就是它們的日常。這是一種無機生命t,跟你認識的生命形式完全不同?!古⑦呎f,邊抓起其中一只,朝天空拋去,說也奇怪,矽族拋出後竟不落下,而是緩緩朝著天空飛去,慢慢消失不見。 「它們的成份跟你的晶圓一樣,所以制程中的酸堿侵蝕對它們都不起作用,一旦出現在晶圓上,就會造成你看到的 defect,但這早已超出你們認知,所以通常都是懸案?!?/br> 士研試著拿起一只,往空中拋去,如果這樣真的可以解決眼前的問題,他愿意把這些東西一只一只全部拋上天。