第101節
換句話說,光刻機所需的反射鏡精度必須打磨到萬億分之一米。 盛明安:“用硅和鉬反復鍍膜,直到光線利用率達到國際標準?!?/br> 當下有?人反駁:“都是?納米級鍍膜,反復鍍膜也會影響精度,工藝太難了?!” 難度多大? 最淺顯易懂的比喻便是?將一面直徑不?超過四十厘米的反射鏡放大至覆蓋地面,其平面起伏不?能超過一根頭發的直徑。 而光刻機所需的反射鏡多達四五十層,平面精度一層比一層要求更平整。 全球只有?德國蔡司這家傳承三?代?以上的企業才造得出這種反射鏡。 當然,反射鏡不?對華出口。 盛明安:“不?用擔憂反射鏡能不?能被打磨出來,你們只需要盡己所能考慮反射鏡在光的收集和轉化率這一單元里,能夠被如何利用到極致?!?/br> “數據、模型,不?管失敗成功,統統記錄下來?!?/br> 盛明安語速打機關槍似的,斬釘截鐵、不?容置喙,仿佛難度高到爆表的光源系統在他眼里層次分明、井然有?序,所有?的技術難點都可以被輕松解決。 他胸有?成竹,心有?溝壑。 他不?必開口安慰,只要用平淡輕松的口氣下達每一道指令就能安定實驗室每個?人退怯、不?自信的心。 “杜頌,打開你的modelica先進?行?初步的超精密激光器建模仿真?!?/br> modelica是?一款可實現復雜的物理系統仿真建模的計算機語言軟件,可用于光刻機某些超精密部件的仿真建模。 杜頌:“已在創建?!?/br> 他領著自己小組成員低頭忙碌。 “雷客,你調整一下光路結構?!?/br> “好?!崩卓褪疽庵执蜷_opc(光學鄰近矯正)軟件,通過模型動態仿真結果?計算查找表修正光與圖案。 盛明安匍匐在桌案,設計市場需求的激光光源,就目前的技術發展而言,光刻機激光光源仍以激光等離子體為主。 驅動光源產生的碎屑數量,光譜純度,每提高一個?技術節點消耗的功率和產能……其實日前最先進?的euv,其功率消耗大、產能低,再過五六年也未能完美解決這兩個?問題。 可盛明安不?清楚。 他雖不?愿用前世記憶盜竊他人成果?提前制造出國產光刻機,可前世是?他完美解決euv產能低的問題,因?此習慣性順手將這難題歸入待解決列表之一。 以至于后來一舉攻破該技術節點實現反超asml目標,實屬意料之外。 *** 15年5月份左右,國際半導體發生了?一件大事。 asml官網對外發布突破光刻機量產瓶頸,正式對外售出可量產14nm極紫外光刻機! 此舉瞬間激起千層浪,全球各界媒體報道不?休,半導體發燒友熱鬧得跟過年一樣紛紛發表討論。國內貼吧、技術論壇和逼乎新帖不?斷,基本都是?討論asml這一舉措將帶來怎么?的影響。 【光刻巨人:asml真正的崛起!】 國內科技網對asml的新聞標題被搬到國內電子發燒友論壇,論壇主搬來這標題就已經表明了?他對未來全球半導體地位的劃分認可。 【如標題所說,從今以后,asml是?唯一的光刻巨人!】 【佳能、尼康的時?代?消失了?,光刻機百花齊放共競爭的時?代?一去不?復返,將來只有?asml一騎絕塵的身影!】 【雖然不?想承認,但歐美又在一個?重要的領域里實現了?科技霸權!】 【諸位,配合英特爾、高通今年年初發布的將于15年實現14nm核心處理器、年末實現10nm核心處理器的新聞發布會食用,而國產光刻機還停留在365nm光波長的第三?代?光刻機技術節點!】 【拉開了?兩代?,落后二十年?!?/br> 【華國被死死扼住半導體產業的喉嚨……】 【感到窒息?!?/br> 另一個?貼沒有?這么?喪氣,但基本是?在吹asml,回顧asml的歷程,曾經也不?過是?個?半生不?死的小公司…… 【誰還能記得曾經的asml瀕臨倒閉?】 【那時?候的尼康和佳能才是?霸權半導體領域的大佬,可惜封殺了?臺積電林大佬的浸潤技術emmmm結果?最后被asml撿漏?!?/br> 【asml的崛起之路從這一步開始[滑稽]?!?/br> 【命運真是?奇妙,誰能料到最后會是?名不?見經傳的阿斯麥爾搶先一步研發出第五代?光刻機?】 【小聲插一句,我國有?機會研發14nm光刻機嗎?】 【??asml肯賣給我們一臺euv就偷笑?了?,還自主研發?做夢呢!】 【肯定告訴你:有?!二十年后!】 【不?過那個?時?候的半導體可能已經發生翻天覆地的變化,摩爾定律失效,現有?的光刻機技術臻至極限不?再寸進?,或許出現了?新的機器替代?光刻機,量子定律取代?摩爾定律……我們再次被甩開二十年?!?/br> 【也不?必這么?悲觀,或許二十年后,華國光刻機技術實現超英趕美?!?/br> 【摩爾定律沒那么?輕易被取代?,你以為重新誕生一個?定律很容易?】 【盛神不?是?解決了?量子糾錯的難題嗎?很多人深受鼓舞,投入量子課題研究。只要某個?領域天才成群結隊而來,天大的難題被解決也只是?時?間的問題?!?/br> …… 【怎么?跑題了??】 【說回正題,祈禱美帝不?會一個?看?我們不?爽就對我們實行?芯片制裁吧?!?/br> 【什么?意思?】 【asml控股大頭是?美帝公司!】 藍河科技。 林成建步伐匆匆進?入研發部的休息室,室內盛明安和陳驚璆都在,還有?雷客、杜頌等人,他們一邊吃中午飯一邊繼續商討研究項目。 “看?到最新消息沒有??” 盛明安:“asml euv發布會?!?/br> “對!”林成建坐下來擦汗,接過雷客倒來的水說:“現在全球訂單飛向asml,一臺售價1.2億美金,訂單排到了?18年?!?/br> 光刻機工藝復雜,就算是?asml一年也只能造出十幾?臺。 “華芯的人也去下訂單?!?/br> 杜頌急問:“怎么?樣?” 盛明安不?用問也知道結果?,陳驚璆則安靜的挑出碗里的辣子雞塊規整放到一旁的飯盒蓋上,然后推給盛明安。 陳驚璆:“我不?吃辣?!?/br> 盛明安抬眼,掃了?眼他那碗幾?乎沒動過的辣子雞,相?信了?。 辣子味道又香又麻不?嗆喉嚨,雞rou嫩滑多汁,吸收了?辣子的香味,吃起來很刺激舌尖。 盛明安很喜歡,他說:“謝謝?!?/br> 陳驚璆笑?看?著他。 對面一姑娘來回看?兩人,心想盛神跟老板太基了?吧。 林成建:“被拒絕了??!?/br> 杜頌:“艸!” 其他人心情激憤卻也無可奈何,誰讓他們的技術就是?落后人家十幾?二十年? 落后活該挨打唄。 歐美各國遵守的《瓦森納協議》就是?專門針對禁止對華輸入高階精密科學儀器和技術,asml不?敢違背協議,自然拒絕對華銷售euv。 沒有?euv,他們還得從臺積電,從英特爾、高通等美帝企業那兒購買芯片,巴巴送錢過去看?人臉色。 休息室眾人情緒低沉,盛明安察覺不?到,自顧自吃飯,吃完了?就拿起手邊的熱水慢吞吞喝兩口解膩,渾身通透的舒服。 第65章 星曉[12] 方案可行。 杜頌鼓起勇氣?問盛明安:“盛神,我們多久能夠研發出高階光刻機?” 盛明安:“短則一兩年,長則四五年?!?/br> 杜頌失望:“這么久?!” 盛明安疑惑:“asml花六年時間才驗證euv方案可行,之后耗費十來?年時間才研發出可量產的高階光刻機。我們剛起步,難道?兩三年還不夠快?” “呃……”杜頌撓頭,不好意思的笑笑:“我太心急了??!?/br> 下一刻,他變了?臉色,著急詢問:“那我們兩三年內能研發出國產14nm光刻機嗎?” 盛明安環顧在場眾人,這才發現?他們難掩焦慮和頹靡,結合他們剛才的討論?,猜出杜頌心急的原因,沉吟片刻便說道?:“華國2002年就把攻克光刻機列入863計劃,08年又啟動了?02專項計劃,我們起步慢,但也有了?十幾年的沉淀和鋪墊?!?/br> 他說到此?處停下,一一看向在場的每個人:“相信每一個生?在這個國家的科學家,他們仍然在努力,日?復一日?攻克光刻機的‘八十一道?’難關。相信你們自己,你們手中的光源系統項目雖然目前看不到成?效,但你們每解決的一個小問題、一個數據,都在朝高階國產光刻機的方向前進?!?/br> 物理科研本來?就是量變引起質變的一門學科,前人積年累月的研究,推動人類社會一步又一步靠近真理大門,最終匯聚成?一場掀動科技革命的颶風。 “總有一天,你們現?在所做出的努力都會得到滿意的回報?!?/br> 其他人有些動容,坐盛明安前面的助理姑娘小聲說:“其實我們這幾個月來?的努力不是沒成?果,至少光路結構里各種鏡頭組件調整是越來?越熟練,也越來?越精準?!?/br> 姑娘被分配到雷客小組,負責光刻機鏡頭組件光路調整。 她開了?口,大家紛紛開口,也都說自己小組負責的項目成?果,雖然沒有實現?奇跡般的大跨越,但是都有在進步。 每個項目研發過程遇到的成?千上百個小問題都被他們一一解決,這么說來?,他們也不是完全沒有收獲。 這么想著,眾人低迷的情?緒逐漸高漲,互相加油打氣?。 “盛神說得對!人家asml花了?多少時間、人力和財力才造出一臺euv,我們這才哪到哪??!” “我們造不出euv,日?韓德英美也造不出來?!” “但他們買得到?!?/br> “誰跟我這兒?漲敵人威風滅自己人士氣?的?給我掌嘴?!?/br> 說喪氣?話的同事很快被身邊人按壓在桌,眾人笑鬧了?一陣,打起精神回實驗室繼續研發,至于?午休時間就算了?。